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  • 资料名称:
    虚拟半导体厂之制造执行系统设计
  • 资料关键字:
  • 资料语言:
    繁体中文
    运行环境:
    Win2K Win9x
  • 授权方式:
    共享资料
    资料大小:
    1.66M
  • 资料等级:
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  • 整理时间:
    2005-7-12 11:04:08
    原创作者:
     
  • 下载次数:
    66
  • 资料简介:
    本文为关于虛擬晶圓廠之製造執行系統設計的论文,详细介绍了关于生产半导体的工艺的制造执行系统的结构的设计,适合企业相关人员学习和培训使用。本文为PPT格式。
    主要内容:
    1、緒論
    2、晶圓之製造執行系統
    3、製造執行系統資料庫設計
    4、虛擬晶圓廠架構界面整合
    5、四隧道之虛擬晶圓廠
    6、結論與未來研究方向
  • 下载说明:
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