微机电系统（MEMS） 元器件、电路及系统集成技术和应用

1技术突破———微系统到微纳米系统

• 第一节 从微电子到微系统
• 第二节 微系统:纳米技术与宏观领域间的联系
• 第三节 自下而上纳米技术:纳米机电系统的未来
• 第四节 总结和展望

2MEMS中的高 k电介质HfO2

• 第一节 概述
• 第二节 HfO2薄膜制造技术
• 第三节 界面掺杂
• 第四节 辐射测试技术
• 第五节 总结和展望

3MEMS的压电薄膜

• 第一节 概述
• 第二节 压电薄膜制造技术
• 第三节 薄膜的压电性质
• 第四节 无铅压电薄膜
• 第五节 利用压电薄膜制造微致动器技术
• 第六节 总结

4高分辨率微陀螺仪应用中的CMOS系统和界面

• 第一节 概述
• 第二节 陀螺仪的电控系统
• 第三节 案例研究:模式匹配音叉陀螺仪
• 第四节 总结和展望

5体声波陀螺仪

• 第一节 概述
• 第二节 工作原理
• 第三节 体声波陀螺仪的设计
• 第四节 体声波陀螺仪的实施方案
• 第五节 体声波陀螺仪的测量技术
• 第六节 总结

6CMOS/MEMS集成系统中机械挠性互连技术和硅通孔技术的应用

• 第一节 概述
• 第二节 MEMS和电路集成的必要性
• 第三节 普通集成技术
• 第四节 挠性I/O和挠性机械连接（MFI）技术
• 第五节 案例研究:MFI技术
• 第六节 案例研究:MEMS的TSV技术
• 第七节 总结

7压电MEMS振动能量采集器模型

• 第一节 为何采用环境能量采集器
• 第二节 通用模型
• 第三节 悬臂梁模型
• 第四节 完整的系统建模
• 第五节 总结

8电容式MEMS陀螺仪接口电路

• 第一节 MEMS陀螺仪工作原理
• 第二节 读出电路
• 第三节 非理想因素的考虑
• 第四节 总结

9坚固耐用高性能陀螺仪系统中的机电电路

• 第一节 概述
• 第二节 振动陀螺仪的工作原理
• 第三节 数字陀螺仪的系统设计
• 第四节 陀螺仪的误差源
• 第五节 误差校正技术和机电电路
• 第六节 驱动电路
• 第七节 可靠性
• 第八节 完整的系统
• 第九节 新颖应用

10移动通信系统中的体声波谐振器

• 第一节 BAW谐振器概念
• 第二节 BAW模型
• 第三节 BAW谐振器的重要性能参数
• 第四节 损耗机理和Q
• 第五节 BAW谐振器测量技术
• 第六节 总结

11空气环境中的宽带超声波发射机和传感器阵列

• 第一节 概述
• 第二节 超声波换能器技术
• 第三节 宽带换能器
• 第四节 评价
• 第五节 应用
• 第六节 总结

12以MEMS为基础的层状光栅傅里叶变换光谱仪

• 第一节 概述
• 第二节 MEMS驱动的层状光栅FTIR光谱仪
• 第三节 谐振扫描MEMS层状光栅傅里叶变换光谱仪
• 第四节 静态MEMS层状光栅傅里叶变换光谱仪
• 第五节 总结

13射频应用中的MEMS谐振器

• 第一节 概述
• 第二节 MEMS谐振器基础知识
• 第三节 MEMS谐振器的应用
• 第四节 MEMS谐振器发展史
• 第五节 以MEMS为基础的无线电收发机
• 第六节 含有MEMS谐振器的机械电路
• 第七节 案例研究:MEMS谐振器的研制
• 第八节 案例研究:以谐振器为基础的系统

14利用便携式惯性和磁MEMS传感器组件及航迹推算法完成姿态重建和实现刚体运动的捕获:生物信标跟踪记录应用

• 第一节 概述
• 第二节 动机和问题
• 第三节 材料和方法
• 第四节 姿态估算的设计方法:互补滤波器
• 第五节 试验验证
• 第六节 对步行运动的三维位置估算
• 第七节 总结

15无线遥控MEMS致动器和应用

• 第一节 概述
• 第二节 热微致动器的无线致动:工作原理
• 第三节 水凝胶的射频致动和植入式输药器件中的应用
• 第四节 无线SMA微夹钳
• 第五节 多微致动器的无线控制
• 第六节 总结

16先进MEMS触觉传感和致动技术

• 第一节 概述
• 第二节 触觉传感器
• 第三节 触觉致动器
• 第四节 总结

17以MEMS为基础的微加热板装置

• 第一节 目前技术水平
• 第二节 微加热板设计过程
• 第三节 制造技术
• 第四节 微加热板特性
• 第五节 金属氧化物气体传感器的微加热板
• 第六节 热辐射器微加热板

18采用惯性传感器的无线传感器网络

• 第一节 惯性测量装置
• 第二节 无线传感器网络
• 第三节 无线传感器网络惯性传感器
• 第四节 应用
• 第五节 总结

19有线和无线应用中的被动射频声波传感器和系统

• 第一节 概述
• 第二节 声波射频传感器的基本原理
• 第三节 查询技术
• 第四节 声波射频传感器系统的有效实施
• 第五节 总结